无锡不锈钢板：镀钛不锈钢复合材料获得技术突破

无锡不锈钢板6月6日讯 该技术采用磁控溅射在不锈钢基底上沉积钛膜，并考察其相关性质及影响因数，确定合适的条件参数，制得膜厚、附着力等性能都较好的薄膜，进而为工业化大规模采用溅射制备薄膜材料提供参考数据。

　　这项技术已经完成了等离子体溅射炉的研制工作，设计并获得了钢材表面镀钛膜的等离子体溅射炉；完成钢材表面等离子体溅射沉积镀钛膜的工艺条件摸索，通过摸索，获得了设备的基本性能。研究了不同工艺参数对钢钛复合材料性能的影响；研究了较优工艺参数对钢钛复合材料性能的影响；在固定其他工艺条件的前提下，对在钢材表面等离子体镀钛膜的各种工艺条件进行了优选实验，获得了各工艺的较优值，这些工艺条件分别是：氩气流量为 20m l/m in、功率 112W、真空度 1.0Pa、镀膜时间 100m in、偏压 150V、靶距 35m m。在上述已优化出来的较优工艺条件下进行综合实验，研究在较优工艺条件下制成产品表面及断面形貌，并对其耐腐蚀性能和钛膜在基材上的附着力进行表征，结果发现制成的钛膜镀层的耐腐蚀性、表面装饰性和附着力均达到预定目标，可以满足工程需要。

　　目前国际上虽然有采用等离子体制备钛合金薄膜的研究报道，但未见在真空条件下等离子体溅射镀钛制备钛膜不锈钢复合材料的研究报道，因此该方法属首创。由于镀钛不锈钢复合材料在科技、国防和社会生活等方面的巨大应用前景，以及该项目成果与传统生产方式相比所具有的巨大优势，使该项目具有广泛的应用前景。该技术属于国内先进水平，限国内转让。

　　宝钛集团有限公司副总经理张延东点评：

　　该技术采用磁控溅射在不锈钢基底上沉积钛膜，通过研究确定合适的条件参数，制得膜厚、附着力等性能都较好的钛薄膜。该成果完成了等离子体溅射炉的研制工作 ,研究了不同工艺参数对钢钛复合材料性能的影响 ,对在钢材表面等离子体镀钛膜的各种工艺条件进行了优选实验，获取了最佳工艺值；并最终制造了耐腐蚀性、表面装饰性和附着力均达到预定目标的钛镀膜层。该技术属于国内先进水平，建议推广运用。